设备特点：

1、显影及蚀刻可独立调压的水平摇摆喷盘设计,喷洒更均匀,生产更流畅；

2、显影配置机械式(或真空式)破泡装置,避免消泡剂污染,有效减少药液浪费；

3、显影设计有全自动测显影点程式,方便生产操作使用；

4、精密补偿蚀刻（二流体）设计，有效控制水池效应，提高做板均匀性，蚀刻线宽线距：1.5mil／1.5mil，蚀刻均匀性cov≥96％，蚀刻因子≥5；

5、退膜交叉斜喷式喷淋可更有效地冲刷退净膜片；

6、圆锥滚筒式膜渣分离系统,可高效干净的收集处理膜渣。